2025年中國芯片制造設(shè)備重點(diǎn)企業(yè)發(fā)展?jié)摿ε琶▓D）

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中商情報(bào)網(wǎng)訊：芯片制造設(shè)備行業(yè)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的核心環(huán)節(jié)，具有高技術(shù)壁壘和資本密集特性，涵蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵設(shè)備。目前我國芯片制造設(shè)備迎來高速增長期，國產(chǎn)替代空間廣闊。榜單中，北方華創(chuàng)以刻蝕/薄膜沉積設(shè)備全環(huán)節(jié)覆蓋能力位居榜首，中微公司憑借5nm刻蝕機(jī)量產(chǎn)穩(wěn)居第二，上海微電子作為國產(chǎn)光刻機(jī)"獨(dú)苗"突破28nm制程位列第三，盛美上海（清洗設(shè)備）、拓荊科技（薄膜沉積）和華海清科（CMP設(shè)備）分列第四至第六，形成覆蓋芯片制造全流程的國產(chǎn)設(shè)備梯隊(duì)，其中頭部企業(yè)Q1營收增速普遍超30%，研發(fā)投入占比最高達(dá)40%。

企業(yè)名稱 技術(shù)突破 核心領(lǐng)域 產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同 國際化能力
北方華創(chuàng) 14nm刻蝕機(jī)量產(chǎn)，5nm設(shè)備驗(yàn)證中，混合鍵合技術(shù)完成研發(fā) 刻蝕/薄膜沉積/清洗 綁定中芯國際、長江存儲，聯(lián)合中微、拓荊構(gòu)建國產(chǎn)設(shè)備生態(tài) 全球第六大設(shè)備商，配套海外晶圓廠研發(fā)
中微公司 5nm等離子刻蝕機(jī)量產(chǎn)，MOCVD設(shè)備全球市占率第三 刻蝕/MOCVD設(shè)備 臺積電、三星核心供應(yīng)商，聯(lián)合應(yīng)用材料開發(fā)下一代設(shè)備 出口韓國、臺灣地區(qū)，專利超2600項(xiàng)
上海微電子 90nm光刻機(jī)量產(chǎn)，28nm制程研發(fā)加速，納米壓印技術(shù)突破 光刻機(jī)整機(jī) 與蘇大維格合作高精度光柵部件，參股中芯國際產(chǎn)業(yè)鏈 向東南亞出口成熟制程設(shè)備
盛美上海 兆聲波清洗技術(shù)國際領(lǐng)先，銅互連電鍍設(shè)備打破壟斷 清洗/電鍍設(shè)備 綁定中芯國際先進(jìn)制程產(chǎn)線，與Lam Research技術(shù)對標(biāo) 獲美國廠商二供資格，進(jìn)入東南亞封測供應(yīng)鏈
拓荊科技 國內(nèi)唯一量產(chǎn)PECVD/ALD設(shè)備，混合鍵合設(shè)備通過驗(yàn)證 薄膜沉積設(shè)備 覆蓋中芯國際、華虹等12英寸線，聯(lián)合開發(fā)先進(jìn)封裝設(shè)備 出口以色列芯片代工廠
華海清科 12英寸CMP設(shè)備壟斷，先進(jìn)封裝市占率突破40% CMP/先進(jìn)封裝設(shè)備 配套長江存儲、長鑫存儲，與ASML合作下一代拋光技術(shù) 進(jìn)入韓國存儲廠商二供體系
萬業(yè)企業(yè) 國內(nèi)唯一12英寸離子注入機(jī)供應(yīng)商，并購Compart強(qiáng)化氣體系統(tǒng) 離子注入/氣體系統(tǒng) 凱世通設(shè)備導(dǎo)入長鑫存儲，參股上海微電子產(chǎn)業(yè)鏈 獲得歐洲IDM企業(yè)認(rèn)證
至純科技 28nm濕法設(shè)備全工藝覆蓋，單片高溫SPM工藝突破 高純工藝/清洗設(shè)備 聯(lián)合北方華創(chuàng)開發(fā)28nm以下設(shè)備，配套光伏半導(dǎo)體雙賽道 出口馬來西亞半導(dǎo)體代工廠
芯源微 涂膠顯影設(shè)備國內(nèi)市占率第一，28nm前道工藝驗(yàn)證完成 涂膠顯影/前道設(shè)備 綁定北方華創(chuàng)協(xié)同擴(kuò)產(chǎn)，軍工訂單占比25% 進(jìn)入東歐新興市場
長川科技 D9000測試機(jī)支持5G毫米波芯片，打破泰瑞達(dá)壟斷 測試設(shè)備 華為海思核心供應(yīng)商，聯(lián)合通富微電開發(fā)Chiplet測試方案 獲東南亞封測廠采購，支持英飛凌認(rèn)證

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

更多資料請參考中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2024-2028年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場調(diào)研及發(fā)展趨勢預(yù)測報(bào)告》，同時中商產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)情報(bào)、行業(yè)研究報(bào)告、行業(yè)白皮書、行業(yè)地位證明、可行性研究報(bào)告、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)鏈招商圖譜、產(chǎn)業(yè)招商指引、產(chǎn)業(yè)鏈招商考察&推介會、“十五五”規(guī)劃等咨詢服務(wù)。